文章目录

1 引 言

2 纳米连接技术及其表征

2.1 纳米连接技术

2.2 纳米连接接头的电学性能表征

2.3 纳米连接接头的力学性能表征

3 单纳米焊点的电/力学性能研究

3.1 同质金属纳米材料的互连

3.2 异质金属纳米材料的互连

3.3 金属与半导体纳米材料的互连

4 基于纳米连接的网络结构的电/力学性能研究

4.1 金属互连网络

4.2 碳基纳米材料及半导体互连网络

5 结束语

文章摘要:纳米连接技术是纳米元器件与微系统及宏观系统整合的关键技术之一。稳定的器件性能取决于可靠的纳米互连结构,评估纳米互连结构的力学性能及电学性能对于预测电子器件的失效模式至关重要。本文结合目前不同纳米连接技术及连接界面的特点,对不同材料从单纳米焊接接头到宏观互连结构的电/力学性能特征进行了总结与展望,通过对互连结构焊接及变形机制、焊接强度、疲劳特性及电学性能的探讨,展现了激光诱导等离子体自限性低温焊接在未来纳米器件及柔性电子器件制造中的巨大潜力。

文章关键词:光学制造,纳米连接,冷焊,激光诱导等离子体,电学性能,力学性能,

项目基金:国家重点研发计划(2017YFB1104900),国家自然科学基金(52022078,51875450),陕西省重点研发计划(2019ZDLGY01-09),