文章摘要:大行程柔性微定位平台在运动过程中不可避免的产生伴生转动现象，并对其定位精度造成消极影响。为降低伴生转动对平台定位精度的影响，首先提出了一种基于柔性杆的3-PPPR型大行程柔性微定位平台；其次，基于线弹性梁理论模型并考虑柔性杆轴向形变，对PPR柔性运动副伴生转角进行了理论建模，并基于此完成了对平台在单轴、双轴及三轴驱动时产生伴生转角的理论分析；然后，采用有限元分析对理论模型进行验证，结果表明：三种驱动条件下平台伴生转角理论值与仿真值最大相对误差为2.46%；最后，探究了柔性杆尺寸参数与平台伴生转角之间的灵敏度关系，为平台性能提升奠定了基础，并据此提出了改善平台运动性能的优化方案。
文章关键词:柔性微定位平台,伴生转动,多轴驱动,有限元仿真,灵敏度分析,