文章摘要:<正>台积电南科晶圆18厂于7月29日因氧气槽污染,影响了5nm产线生产,在经过近日的清理后,已于8月2日全面恢复生产。台积电强调,此事件不会影响客户产品交期。台积电南科晶圆18厂5nm产线制程产线此前因厂商供应气体疑似受到污染当天,导致产线部分停工,台积电也即时调度其他气体供应,以确保产品品质。
文章关键词:台积电,
论文分类号: F426.6
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